ASM International NVの製品一覧

Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

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Pulsar XP

ASM International NV

HKMGスタック形成対応ALD装置

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EmerALD XP

ASM International NV

HKMG量産に対応したALD装置

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Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD

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A412 PLUS／A400

ASM International NV

A412：300mmウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置 A400：200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置

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