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EmerALD XP

ASM International NV
最終更新日: 2022年07月15日

HKMG量産に対応したALD装置

・独自のシャワーヘッド構造で高品質で、均一性の高い膜形成を実現。高い埋め込み性能を達成している
・シャワーヘッドを小型化し、チャンバサイズの最適化により高生産性を実現。
・リモート・プラズマ技術を導入することでプロセス制御性を向上
・In-situクリーニングによ稼働率を向上。

基本情報

主なアプリケーション
Metal gate layers;
Low-temperature oxides;
Capacitor electrodes. ​

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取扱企業

ASM International NV

業種:産業用機械 Versterkerstraat 8,1322 AP Almere 

薄膜形成技術で多層構造の未来を築く

ASM のテクノロジーは、未来の高度なチップを作り出す半導体材料の薄膜を形成する技術である。 さらに多くの用途、さらに多くのトランジスタ、そしてさらなる複雑化によって、ますます多層化が進んでいる。各層を組み合わせることで、新しい可能性の世界を開いていく。

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