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IH-860DSIC

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月25日

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

・自動連続高温処理注入が可能
・1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能
(オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応)
・エンドステーションに高温型静電チャックを搭載することにより基板温度をより正確に制御
・デュアルエンドステーションにて高スループットを実現
(A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能)
・チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減
・コンパクト設計
・試作から量産まで幅広く対応可能

基本情報

エネルギー 30-350keV(1価)、30-700keV(2価)
基板温度 500℃設定時 ΔT30℃以下
試料サイズ 3~6インチ
スループット 30枚/h
オリフラ 0~359°
注入角度 0~60°
制御方式 排気系:AUTO
ビーム系:AUTO
ウェーハ装着:AUTO
装置サイズ 3070(W)×6800(D)×2600(H)

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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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