ジェイテクトサーモシステム株式会社の製品一覧
300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…
詳細を確認する「ジェイテクトサーモシステム株式会社」の関連企業一覧
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300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…
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