ジェイテクトサーモシステム株式会社の製品一覧

300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900

ジェイテクトサーモシステム株式会社

シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…

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ジェイテクトサーモシステム 株式会社


ジェイテクトサーモシステム株式会社(旧名：光洋サーモシステム）は金属材料・半導体・FPD・電子科学分野の工業用熱処理装置の製造・販売を行っ…

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