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CC-200/400

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日
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ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

・SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：SiO2膜の対応可能
・CF4+O2プラズマによるチャンバークリーニング可能
・有機EL向けの低温成膜用ヒーター対応可能
・真空ボックスによりCシリーズ間での間接連続プロセス可能 (Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200).
・用途：パワーデバイス、LED、LD、高速デバイス等の化合物関連、有機EL開発、太陽電池開発、MEMS

基本情報

・27.12MHzの高密プラズマプロセス
・トレー搬送で多様な基板サイズに対応

価格帯 5000万円以上 1億円未満
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取扱企業

株式会社アルバック

業種：繊維  所在地：神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
　変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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