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SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

株式会社安川電機
最終更新日: 2023年12月22日

4軸水平多関節ダブルアームロボット

片腕に2枚のウエハを保持し、2つのプロセスチャンバーに同時搬送可能

基本情報

適用ウエハサイズ ~300 mm(SEMI規格準拠品)
ウエハ把持方式 パッシブグリップ
標準エンドエフェクタ長 468 mm*3
自由度 4自由度
動作範囲 R軸(伸縮) 951 mm
T軸(旋回) 360°(エンドレス)
Z軸(昇降) 100 mm
最小回転半径 90 mm
位置繰返し精度 0.05 mm(P-P)
本体質量 120 kg
対応真空度 高

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取扱企業

株式会社安川電機

業種:繊維  所在地:福岡県 北九州市八幡西区黒崎城石 2-1

i3-Mechatronicsのコンセプトのもと、サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットなどを強化

安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オートメーションの安川”を経て、“メカトロニクスの安川”へ、つねに時代の主力となる事業を支え続けてきました。新たなソリューションコンセプト「i3-Mechatronics(アイキューブメカトロニクス)」を提唱しています。サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットのコア事業の強化を進めています。
 

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