半導体用語集
搬送システム
英語表記：material handling system
半導体工場の製品搬送は、同じようなプロセス処理をする設備群の間を行ったり来たりするために、投入から入庫までの総搬送距離はかなり大きなものになる。このため、設備群間を搬送する工程間搬送の自動化がまず実施された。これにより、ライン中の作業者の大幅な低減と、製品TATの短縮をみることができた。
工程間搬送には、天井近くにレールを設置し、そのレールの上をリニアモータを駆動力とした無塵搬送台車が走り、製品をその台車に載せて搬送しているものが一般化している。
各設備群には、ストッカが設置されており、製品は次工程のストッカまで運ばれて保管されている。製品を設備に掛ける時は、このストッカから取り出し、個々の設備まで運んで、設備に製品をセットして製品処理のプロセスを開始させる。最近、このストッカから設備までの搬送（工程内搬送）を自動化する傾向が出てきている。これは製品から人を遠ざけることにより、歩留りを向上させたり、設備の人待ちによるロスをなくす目的で工程内搬送が導入されているためである。今後、ウェハの大口径化により搬送する製品の重量が重くなると、ますます工程内搬送の自動化が進むと考えられる。
工程内搬送は、ロボットつき無軌道（AGV）の台車に製品を載せて運ぶ方式やロボットつき有軌道台車（RGV）に載せて運ぶ方式がある。最近、天井にレールを設置して、製品を抱えた台車を走らせ、設備にはワイヤで釣り下げる方式（OHT）もでてきた。今後、工程間搬送と工程内搬送を一体化した搬送方式もでてくる。
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