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UTM70B

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日
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セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

・取り付け方向自由
　取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。
・オンボードコントローラ搭載
　コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。
・高圧縮比・高排圧
　圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。
・3種類のフランジを用意
　VG65、ICF114、ISO63-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。
・清浄な真空
　運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
・低騒音
　無負荷運転時の騒音は48dB以下と静かです。
　（ISO63-Kフランジタイプの測定値です。）
・用途：分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系。蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系。H2、Heなどの軽ガスの主排気系

基本情報

冷却方式 自然空冷／強制空冷
吸気口側フランジ VG65,ICF114,ISO63-k
排気口側フランジ KF16
排気速度 N2：70L/sec、He：60L/sec、H2：49L/sec
到達圧力（2段式補助ポンプ使用時） ベーキング後（強制空冷）　10-8Pa
ベーキング前10-6Pa
最大圧縮比 N2:＞1×10^9、He:4×10^7、H2：4×10^5
最大吸気口圧力 N2：0.43Pa（自然空冷）、1.1Pa（強制空冷）
最大排気口圧力 N2：300Pa（自然空冷）、900Pa（強制空冷）
連続最大流量 ガスパージ無（N2）：15sccm（自然空冷）、40sccm（強制空冷）
ガスパージ無（Ar）：-（自然空冷）、10sccm（強制空冷）
ガスパージ有（Ar）：-（自然空冷）、15sccm（強制空冷）
推奨補助ポンプ（10SCCM吸引時） 60L/min
質量 VG:3.3kg、ICF:3.0kg、ISO：5.0kg
回転数 87000rpm
起動時間（80％まで） 1.7min
表面処理 無し
取付方向 全方位
騒音 48dB（A)以下

お問い合わせ

取扱企業

株式会社アルバック

業種：繊維  所在地：神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
　変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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