カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- サセプタ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
- SASU(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
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- エンドポイントモニタ
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- 真空バルブ
- オーリング
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- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
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- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン(半導体グレード)
- SUS(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
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- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト/現像液
- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
UTM70B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ
・取り付け方向自由
取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。
・オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。
・高圧縮比・高排圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。
・3種類のフランジを用意
VG65、ICF114、ISO63-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。
・清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
・低騒音
無負荷運転時の騒音は48dB以下と静かです。
(ISO63-Kフランジタイプの測定値です。)
・用途:分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系。蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系。H2、Heなどの軽ガスの主排気系
基本情報
冷却方式 自然空冷/強制空冷
吸気口側フランジ VG65,ICF114,ISO63-k
排気口側フランジ KF16
排気速度 N2:70L/sec、He:60L/sec、H2:49L/sec
到達圧力(2段式補助ポンプ使用時) ベーキング後(強制空冷) 10-8Pa
ベーキング前10-6Pa
最大圧縮比 N2:>1×10^9、He:4×10^7、H2:4×10^5
最大吸気口圧力 N2:0.43Pa(自然空冷)、1.1Pa(強制空冷)
最大排気口圧力 N2:300Pa(自然空冷)、900Pa(強制空冷)
連続最大流量 ガスパージ無(N2):15sccm(自然空冷)、40sccm(強制空冷)
ガスパージ無(Ar):-(自然空冷)、10sccm(強制空冷)
ガスパージ有(Ar):-(自然空冷)、15sccm(強制空冷)
推奨補助ポンプ(10SCCM吸引時) 60L/min
質量 VG:3.3kg、ICF:3.0kg、ISO:5.0kg
回転数 87000rpm
起動時間(80%まで) 1.7min
表面処理 無し
取付方向 全方位
騒音 48dB(A)以下
取扱企業
株式会社アルバック
業種:繊維 所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500
イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する
アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。
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