不純物導入装置(拡散装置は成膜装置内)の製品一覧

半導体中に不純物元素を微量入れてキャリア(電子または正孔(ホール))を発生させるプロセスのための処理装置

MC3-Ⅱ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

最新鋭・高性能の中電流イオン注入装置

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SHX-Ⅲ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

極低エネルギーイオン注入を可能にした高電流イオン注入装置

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NV-GSDⅢ-180

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

多様なアプリケーションに対応可能な、後段加速付高電流イオン注入装置の デファクトスタンダード

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Exceed400HY

日新イオン機器株式会社

パワーデバイス向け水素注入装置

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Exceed9600AH

日新イオン機器株式会社

高エネルギーイオン注入装置

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Exeed3000AHシリーズ

日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

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Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

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Purion-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

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Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置

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Viista3000XP

Applied Materials,Inc

高エネルギーイオン注入措置

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