半導体用語集
ドーピング装置
英語表記：doping system
ｐ型、ｎ型の不純物原子をウェーハ中に添加するための装置。不純物添加の方法には熱拡散法、レーザドーピング法、プラズマドーピング法及びイオン注入法などがある。
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