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MagnaTranR 8 QuadraFly

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2024年05月30日
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ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

・4つのエンド エフェクタによる真空での 4 枚同時のウエハー搬送
・運動用シール、タイミング ベルトやケーブルのない大容量ダイレクト ドライブ テクノロジー
・1,280 万 MCBF を上回る実績ある信頼性
・特許取得済みの Time Optimal Trajectory? モーション コントロール
・ドライブから最大 15 フィート (約 4.57 m) 離れた場所にある外部コントロール
・ユーザーがプログラム可能なロボット アクセス ゾーン
・CE および SEMI S2 に準拠
・450 mm に対応

基本情報

　QuadraFly ロボットの高速切り替えアームセット、Time Optimal Trajectory、連続回転機能、ダイレクト ドライブ サーボを Brooks 独自の DSP コントローラと併用することで、より高いスループットを提供し、生産性の向上を実現します。
　ユーザーがプログラム可能な安全ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。モデム接続されているリモートのサービス端末から GUI を使用して包括的な診断を行うことができます。イベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリ内に格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視およびレポートできます。マルチ センサのインターフェイスは、基板センサ、バルブ、その他の周辺モジュールに対する直接的なインターフェイスを可能にする高速デジタル IO によって実現されます。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。

お問い合わせ

取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種：産業用機械 15 Elizabeth Drive、チェルムズフォード、M+1-978-262-2400A 01824 アメリカ合衆国 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
　1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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