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MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2020年07月22日
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真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

・スループットのきわめて高い MagnaTran 7 ロボット
・300 mm までのサイズのウエハーを処理
・運動用シール、ドライブ ベルト、またはケーブルのないコンパクトなダイレクト ドライブ テクノロジー
・1,100 万 MCBF を超える実績ある信頼性
・一体型マウントの DSP ベースの制御電子回路
・高度なファームウェアによりローカルおよびリモートでの監視および診断が可能
・CE および SEMI S2 に準拠

基本情報

　クラス最高の MagnaTran テクノロジーにはダイレクト磁気ドライブが装備されています。摩擦、摩耗、裂け、ねじれが減るため、不良の発生が削減されます。また、振動やパーティクルも最小限に抑えられます。この設計により、エッジ コンタクトなしで高精度のポジショニングを行うことができます。リップ シールまたは磁性流体シールがないことで、真空性能が向上するだけでなく、搬送チャンバに水が侵入することがなく、PVD フィルムの蒸着が促進されます。現場で実証済みの一体型制御電子回路では、省スペースであるだけでなく、電子干渉の影響をあまり受けず、パッケージの小型化と高い信頼性が実現します。
　モデム接続されているリモートのサービス端末からグラフィック インターフェイスを使用して包括的な診断を行うことができます。表示追跡ユーティリティでは、エンド エフェクタにプログラムされている加速度と実際の加速度を監視できます。以前のイベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリ内で機能します。つまり、重要な性能特性をグラフィカルに監視することができます。
　高速デジタル IO を使用するマルチ センサ インターフェイスにより、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールに対する直接的なインターフェイスが可能になります。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知により、ポジショニングを確認できます。ユーザー指定のラジアル位置での動的感知により、Leapfrog アームで独立したウエハー感知を行うことができます。PASIV? 安全機能 (プログラム可能アクセス セイフティ対象ボリューム) では、ユーザーがプログラム可能なアクセス ゾーンを提供し、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の高度な安全性を保証します。

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1ヶ月以内
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取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種：産業用機械 15 Elizabeth Drive、チェルムズフォード、M+1-978-262-2400A 01824 アメリカ合衆国 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
　1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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