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MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2024年05月30日
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高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

・300mm までのサイズのウエハーおよび規格外の基板を処理
・運動用シール、ドライブ ベルト、またはケーブルのないコンパクトなダイレクト ドライブ テクノロジ
・1,100 万 MCBF を超える実績ある信頼性
・一体型マウントの DSP ベースの制御電子回路
・特許取得済みの Time Optimal Trajectory
・ワークスペースのアクセス ゾーンをユーザーがプログラム可能
・高度なファームウェアによりローカルおよびリモートでの監視および診断が可能
・シングルまたはデュアル エンド エフェクタ設定
・CE および SEMI S2 に準拠

基本情報

S字カーブ プロファイルよりも 15～30% 高速な搬送速度をもたらす Time Optimal Trajectory の使用で、きわめて高いスループットが実現します。連続回転機能で 180 度を超える動作が不要になり、Brooks 独自の DSP コントローラとダイレクト ドライブ サーボで振動を最小限に抑えます。
　ユーザーがプログラムできるワークスペースのアクセス ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。モデム接続されているリモートのサービス端末からグラフィック インターフェイスを使用して包括的な診断を行うことができます。以前のイベントに関するエラー ログは、時刻と日付がスタンプされています。サイクル カウンタは不揮発性メモリに格納されており、重要な性能特性をグラフィカルに監視できます。マルチ センサ インターフェイスは、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールとの直接的なやり取りを可能にする高速 PIO によって実現します。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。

お問い合わせ

取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種：産業用機械 15 Elizabeth Drive,Chelmsford, M+1-978-262-2400A 01824 U.S.A. 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
　1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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