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MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.
最終更新日: 2020年07月22日
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真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

・300 mm までのサイズのウエハーおよび規格外の基板を処理
・特許取得済みの Frogleg? アーム
・1,100 万 MCBF を超える実績ある信頼性
・特許取得済みの Time Optimal Trajectory?
・ワークスペースのアクセス ゾーンをユーザーがプログラム可能
・外部感知による自動ウエハー センタリング
・CE および SEMI S2 に準拠

基本情報

S 字カーブ プロファイルよりも 15～30% 高速の搬送速度をもたらす Time Optimal Trajectoryの使用で、きわめて高いスループットが実現します。連続回転機能では、180 度を超える動作が不要になり、Brooks 独自の DSP コントローラとダイレクト ドライブ サーボで振動を最小限に抑えます。
　ワークスペースのユーザーがプログラム可能な安全ゾーンは、手動運転中に発生する可能性のある衝突を回避することで価値の高いウエハーおよびプロセス機器の安全性を保証できます。 モデム接続されているリモートのサービス端末からグラフィック インターフェイスを使用して包括的な診断を行うことができます。以前のイベントに関するエラー ログは、日付と時刻が記録されています。サイクル カウンタは不揮発性メモリに格納され、重要な性能特性をグラフィカルに監視できます。マルチ センサ インターフェイスは、基板センサやバルブなどの他の周辺モジュールとの直接的なやり取りを可能にする高速デジタル IO によって実現します。リアルタイムの情報を使用して、可動コンポーネントのエッジ感知でポジショニングを確認できます。安全のためのウエハーの有無の確認は、マクロ シーケンスで行うことができます。

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

Brooks Automation Inc.

業種：産業用機械 15 Elizabeth Drive,Chelmsford, M+1-978-262-2400A 01824 U.S.A. 

半導体などハイテク産業向け真空機器のトップメーカ

Brooks は、半導体製造、ライフ サイエンス、およびクリーン エネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューションを提供する世界規模の大手プロバイダです。
　1978 年以降、Brooks は半導体製造装置関連のグローバルなサプライヤとなっています。クラス1レベルのクリーンルームで使用可能な半導体ウェーハハンドリングロボットをフルライン、柔軟なエンドエフェクタ、アライナと可搬重量に関して多彩なオプションを準備しています

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