半導体用語集
ベルトレス搬送
英語表記：beltless transfer system
真空ロボット搬送、磁気浮上輸送のように、マスク、ウエーハなどの基板裏面を直接ベルトなどで摺動することのない基板搬送機構の総称。従来のゴムベルト、金属性スプリングベルトを採用したベルト搬送は、ベルト材質からの汚染を防止できない。
関連製品
「ベルトレス搬送」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ベルトレス搬送」に関連する用語が存在しません。
「ベルトレス搬送」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
