真空ロボットの製品一覧
UTVW-R2800H
株式会社ダイヘン
DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット
ACTRANS UT-VFX3000NM
300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット
MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)
Brooks Automation Inc.
真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット
MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)
真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット
MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)
真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット
MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)
高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット
MagnaTranR 8 QuadraFly
ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換
MagnaTran 8 Radius
積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット
MPL-CE4-2
タツモ株式会社
低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。
MPL-DA3-2
関連用語
関連特集
「真空ロボット」の関連企業一覧
ローツェ 株式会社
1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…
タツモ 株式会社
タツモは半導体製造装置、液晶製造装置、クリーン搬送システム、精密金型などの事業を行っている。半導体製造装置では、塗布現像装置、貼合装置…
ニデックインスツルメンツ 株式会社
ニデックインスツルメンツ(旧日本電産サンキョー)はニデックの子会社として、ステッピングモータなどの各種モータからカードリーダ、産業用ロ…
関連企業一覧
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
SNS
特集
お知らせ