真空ロボットの製品一覧

真空内で動作するロボット。製造装置用では、真空度が10-4~10-6Paでの動作を前提にしているものが多い。より低い真空度で使用するロボットもある。

UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

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ACTRANS UT-VFX3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット

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MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

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MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

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MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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MagnaTranR 8 QuadraFly

Brooks Automation Inc.

ハイ スループットの小型コンテインメント アプリケーションで 4 枚のウエハーを真空で同時に交換

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MagnaTran 8 Radius

Brooks Automation Inc.

積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット

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MPL-CE4-2

タツモ株式会社

低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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MPL-DA3-2

タツモ株式会社

低真空ロボット。低振動・低騒音を実現しており、次世代の半導体製造装置に対応可能です。

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