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RR492L400

ローツェ株式会社
最終更新日: 2021年09月07日

2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

RR492フロッグレッグアーム真空ロボットは、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、フルリンクアーム機構により、高い繰り返し位置決め精度を実現しています。

基本情報

被搬送物:~300mmウエハ、6”マスク等
ワーク中心搬送距離:1,039mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク:70mm/140mm
旋回範囲:無限回転
旋回直径:980mm
搬送精度 (X,Y):±0.1mm
質量:70kg
耐真空度:10E-6 Pa
Heリークレート:5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度:80℃以下
真空内使用材料:Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様:真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様:ABS
ユーティリティー:DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様:TCP/IP
オプション:ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input

お問い合わせ

取扱企業

ローツェ株式会社

業種:繊維  所在地:広島県 福山市神辺町道上 1588-2

半導体製造装置向けロボット、EFEM、ソータで大きな実績

1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内外に数多くの顧客を獲得、開発・製造でもアジアなど世界展開も進めている。売上高は2018年2月期で522億4,800万円、2019年2月期は313億6,800万円。

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