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RR493L230

ローツェ株式会社
最終更新日: 2021年09月07日

超高真空対応スカラアーム・ロボット

RR493/スカラアーム真空ロボット(シングル・アーム)は、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるリンク・アーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。L230のワーク中心搬送距離は835mm (300mmウエハの場合)

基本情報

被搬送物:~300mmウエハ
搬送質量:3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)
ワーク中心搬送距離:835mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク:70mm/140mm
旋回範囲:無限回転
旋回直径:590mm
搬送精度 (X,Y):±0.1mm
質量:70kg
耐真空度:10E-6 Pa
Heリークレート:5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度:80℃以下
真空内使用材料:Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様:真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様:ABS
ユーティリティー:DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様:TCP/IP
オプション:ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

お問い合わせ

取扱企業

ローツェ株式会社

業種:繊維  所在地:広島県 福山市神辺町道上 1588-2

半導体製造装置向けロボット、EFEM、ソータで大きな実績

1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内外に数多くの顧客を獲得、開発・製造でもアジアなど世界展開も進めている。売上高は2018年2月期で522億4,800万円、2019年2月期は313億6,800万円。

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