半導体用語集
真空ロボット
英語表記：robot for using in vacuum
真空室内において基板単体を移送するために用いられる搬送機構の総称。マスク、ウェーハなどの基板のパーティクル汚染を防止するため、摺動部を極力低滅する機構が採用されている。機能としては、直進、回転、上下動の各機能をもつものが通常である。
関連製品
MagnaTran 8 Radius
Brooks Automation Inc.
積載量が大きく、コンテインメントが小さいアプリケーション向けの高速ウェーハ切り替え真空ロボット
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