半導体用語集
工程内搬送
英語表記：intrabay transportation
半導体製造過程において、各製造プロセス群（成膜群、洗浄群など）を一つの工程ととらえ、その工程内に発生する搬送。一般に、工程にはその工程用のストッカ（保管設備）が存在し、工程内搬送はストッカと製造装置または製造装置間の搬送となる。
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