半導体用語集
天井軌道走行型搬送車 OHS OHT
英語表記：ceiling -track guided vehicle overhead -track guided vehicle overhead shuttle overhead hoist transport
軌道レールを必要とし、天井レベルの空間を走行する無人搬送車。その軌道レールは、天井から吊り下げられることが多い。搬送能力を高める為に、分岐・合流走行のできるものもある。主に、工程間搬送に使用するものをOHS、工程内搬送に使用し、移載装置がホイスト形式のものをOHTと呼ぶ。
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