半導体用語集
オンライン
英語表記：online
半導体の生産は、300から400工程以上ものプロセスステップを持つ製品を、多品種流すことが多く、また、プロセスの変更も激しい。そのため、コンピュータによる工程管理、条件管理が行われている。しかし、コンピュータによる指示を人が受けて作業を実施しても、人が設備に条件をセットする時に間違えたり、本来すべき設備でない設備で作業をしてしまうことが多かった。そのため、設備とコンピュータを通信回線で結んで、オンラインで条件のやり取りや、設備のチェックを実施する方法が一般化している。これをオンラインと総称している。製造設備との間のオンラインの他にも、搬送設備との間にもオンラインは実施されている。設備群間を搬送する工程間搬送と、設備群内を搬送する工程内搬送のオンライン化によって、製品作業の完全無人化が実現できているラインもでてきている。オンライン化によって作業の自動化が実現できるメリット以外にも、設備からのデータ収集が自動でできることが大きなメリットである。特に検査設備からのデータの量と精度が増すことにより、歩留り向上のための解析作業の効率が飛躍的に向上している。
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