半導体用語集
設備保全
英語表記：equipment maintenance
設備保全とは設備の性能を完全な状態に維持するためのすべての活動をいう。設備保全の機能は以下のように分類できる。
(1)事後保全：故障停止または有害な性能低下をきたしてから修理を行う保全方法。
(2)日常保全：設備機能を保証して設備の生産性を高めるために行う、劣化を防ぐ活動（清掃・給油・増し締め）、劣化を測る活動（使用条件や設備劣化の日常点検）、劣化を復元する活動（小整備）のこと。
(3)定期保全：設備の強制劣化や弱点を排除し、設備の部位・部品を偶発故障や摩耗故障期間の状態にしたうえで、その信頼度を考慮した劣化の測定方法やどのレベルになればどこまで復元するという基準と保全周期を決めて行う保全方法。
(4)予知保全：点検や診断によって重要な部品の寿命を予知し寿命いっばい使おうとする保全方式で、最も保全費用や故障損失が少ない方法である。劣化状態の測定データとその解析によって、傾向管理を行ったりオンラインで状態モニタするなどの監視システムを用いる。
(5)改良保全：設備の信頼性・保全性・安全性などの向上を目的として、既存設備の設計上の弱点を計画的・積極的に体質改善して劣化・故障を減らし、保全不要の設備を目指す保全方式。
(6)保全予防：新設備の時から信頼性・保全性・経済性の優れた保全不要の設備作りをすること。このための設計はMP設計と呼ばれ、設備の取得費用と運転維持費を合計したライフサイクル全体のトータルコストミニマム化を目的としている。
なお、日常保全・定期保全・予知保全を合わせて予防保全という。
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