半導体用語集
設備稼働率
英語表記：machine availability
設備が、必要な時期にいつでも正常にその機能を十分に発揮し稼働できる割合のこと。設備の稼働状況を判断するうえでの重要な指標の一つである。一般的に以下の計算式で定義される。
設備稼働率＝（稼働時間/負荷時間）×100（%）
どのような状態を設備が稼働しているとみなすか、稼働の定義を明確にし統一しておかないと他の設備との正確な比較は行えない。また、半導体工場においては設備稼働率の向上がきわめて重要な要素の一つとなるが、そのためには設備の不稼働時間の分析も重要である。不稼働時間の内訳は一般的に以下のように大別されている。
(1)故障：設備が生産活動の対象にありながら、設備の不具合による不稼働状態のこと。生産を阻害する最も大きな要因であり、故障低減活動が生産性向上の中で大きなウェートを占める。設備保全部門が中心となり低減活動が進められている。
(2)待ち：設備が稼働可能な状態で、人の不在・仕掛品なし・部材入手未了などで稼働できない状態のこと。製造部門が主体となって改善を進めている。
(3)計画保全：装置の性能維持・復元のため、計画的に行う保全作業のこと。いわゆる定期点検と呼ばれるものである。点検項目と点検頻度の最適化が重要となる。頻度が多いと設備稼働率の低下・保全費用の増大に繋がり、少ないと故障が頻発するおそれがある。
(4)準備：装置が生産可能な状態にあることの確認作業および生産を行うための準備のこと。
(5)その他：（1)～(4)のいずれにも属さない状態のこと。
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