半導体用語集
生産システム
英語表記：production systems
半導体産業の生産システムは、ウェハ段階の工程のシステムに大きな特徴がある。ウェハ段階の生産では、工場内に同種の設備をまとめてレイアウトし、それらの設備群を製品が行ったり来たりして生産される（ジョブショップ方式）。このことが、生産システムに大きく影響を与えている。また、製品の完成までに300から400工程もの工程を処理し、多品種を同時に生産し、品種の切り換えや、製造プロセスが頻繁に変化することも生産システムを特徴づけている。生産システムは、製品の処理作業が正しく行えるように指示を作業者に与えている。また、設備に信号線を介して直接指示を与える方式（オンライン）も一般的に行われている。オンラインは設備の処理タイプ（バッチ処理や枚葉処理）ごとに、仕様に共通性があるが、設備メーカーや半導体メーカーにより仕様が異なっているため、標準化機関により多くの時間を割いて標準化が進められている。また最近では、製品の搬送の自動化も進み、製品作業に関する部分はほとんど無人化ができるレベルになっている工場も出てきている。一方、設備を安定に稼働させ、製品の歩留りを維持・向上するために、設備管理や品質管理のシステムが活躍している。これらのシステムは人に情報を提供するのが主な目的で作られており、自動的にフィードバックをかけるシステムは、まだ一部でしか使われていない状態である。ジョブショップ方式をとっているので、設備の稼働を維持するためには、設備の前にある程度の仕掛かりが必要である。この仕掛かりを適正水準に維持しないとライン内の工期が長くなり、TAT（発注から納入までの期間）が長くなってしまう。このため、シミュレーション技術などを利用した高度な生産管理が行われており、作業順番の制御も自動的に行えるスケジューリングシステムやディスパッチシステムも使われている。さらに、顧客からの納期明示要求や、多くの生産ラインヘの製品の振り分けをするため、全社規模の情報処理システムも生産システムと結びついている。今後、生産システムは自動化と枚葉制御の方向で進歩していくと考えられるが、開発コストとシステムの性能・効果のバランスがますます重要になる。また、人の役割とシステムの役割をどのように切り分けていくかというのも大きな課題である。
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