半導体用語集
枚葉式ウェハ搬送装置
英語表記：single wafer transportation system
装置内あるいは工程内でウェハを搬送する時、ウェハを1枚ずつ個別に移送する装置。通常は枚葉処置する装置の搬送用として使用される。実際の搬送媒体としては、装置内搬送では、口ボットアームによる搬送が最も多く、他にベルト搬送などがある。工程内搬送では、現時点では該当する例を見つけるのが困難であるが、今後はパージN₂雰囲気中において、ウェハ保持用チャックまたはステージをガイドレールに沿って移動させるシャトルアームによる搬送方式が多くなるものと予想される。
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