成膜装置の製品一覧
CMDシリーズ
株式会社アルバック
CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。
CS-L
実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…
CS-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。
ACS-4000
コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。
SXシリーズ
バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…
SVシリーズ
バッチ式スパッタリング装置
SRHシリーズ
裏面・実装用スパッタリング装置
MLX-3000N
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…
EPIREVO S8
株式会社ニューフレアテクノロジー
200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置
Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ
Kokusai Electric株式会社
次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置
関連用語
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「成膜装置」の関連企業一覧
株式会社 高純度化学研究所
高純度材料ならおまかせください。 高純度金属材料を中心に化合物や合金など様々な材料を創り出してきました。 7つのコア技術と60年間歩み続け…
株式会社 ケープロジェクト
株式会社ケープロジェクトは、1993年に独立系のソフトウェアハウスとして設立し、技術者派遣を中心にクレジット系、金融系、生保系の業務で実績…
株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
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