成膜装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの薄膜を形成する装置

ISACRESEARCH iOV dX3

isacresearch

iOV dX3

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iOV dX1

isacresearch

小規模研究室に最適

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SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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SD-CVD

Jusun Engineering

CVD/ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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GEMINI ALD

WONIK

高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置

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NOA ALD

WONIK

メタル形成用ALD装置

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ALTUS

Lam Research

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する

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CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW

Applied Materials,Inc

金属コンタクト用高精度成膜装置

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株式会社 荏原製作所


産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…

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Kokusai Electric 株式会社


　当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…

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キヤノンアネルバ 株式会社


キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。

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