成膜装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの薄膜を形成する装置

CS-L

株式会社アルバック

 実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…

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CS-200

株式会社アルバック

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

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ACS-4000

株式会社アルバック

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

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SXシリーズ

株式会社アルバック

 バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

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SRHシリーズ

株式会社アルバック

裏面・実装用スパッタリング装置

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MLX-3000N

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…

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EPIREVO S8

株式会社ニューフレアテクノロジー

200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

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Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置

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SWA90GDシリーズ

住友重機械工業株式会社

次世代パワーデバイス用レーザアニール装置

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