成膜装置の製品一覧
CS-L
株式会社アルバック
実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…
CS-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。
ACS-4000
コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。
SXシリーズ
バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…
SVシリーズ
バッチ式スパッタリング装置
SRHシリーズ
裏面・実装用スパッタリング装置
MLX-3000N
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…
EPIREVO S8
株式会社ニューフレアテクノロジー
200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置
Advanced TURUGI PLUS-Ⅲ
Kokusai Electric株式会社
次々世代デバイスに対して高難易度成膜と高生産性を両立するサーマルプロセス装置
SWA90GDシリーズ
住友重機械工業株式会社
次世代パワーデバイス用レーザアニール装置
関連用語
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「成膜装置」の関連企業一覧
株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
Kokusai Electric 株式会社
当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…
キヤノンアネルバ 株式会社
キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。
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