成膜装置の製品一覧
Pulsar XP
ASM International NV
HKMGスタック形成対応ALD装置
EmerALD XP
HKMG量産に対応したALD装置
Dragon XP8
8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD
VECTOR Family
Lam Research
高生産性と低コストを維持しながらも、幅広いプロセスアプリケーションに対応出来る柔軟性を持ったプラズマCVD装置
Reliant Deposition
MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置
Centura DxZ CVD
Applied Materials,Inc
先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置
真空乾燥システム
大村技研株式会社
真空蒸着装置
EAC型
株式会社荏原製作所
本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です…
LA-3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置
IC7500
キヤノンアネルバ株式会社
主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置
関連用語
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「成膜装置」の関連企業一覧
株式会社 SHINCRON
シンクロンは蒸着とスパッタの両方式の進化に技術力で貢献し、真空薄膜の可能性を拡大してきました。今もなお技術革新は続いており、お客様のご…
株式会社 高純度化学研究所
高純度材料ならおまかせください。 高純度金属材料を中心に化合物や合金など様々な材料を創り出してきました。 7つのコア技術と60年間歩み続け…
株式会社 ケープロジェクト
株式会社ケープロジェクトは、1993年に独立系のソフトウェアハウスとして設立し、技術者派遣を中心にクレジット系、金融系、生保系の業務で実績…
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