成膜装置の製品一覧
SWA90GDシリーズ
住友重機械工業株式会社
次世代パワーデバイス用レーザアニール装置
プラズマリフロー装置
神港精機株式会社
同社独自技術で開発
常温ウェーハ接合装置BOND MEISTER
日本電産マシンツール株式会社
接合プロセスに新たな地平を開く 常温ウェーハ接合装置
SABRE-3D
Lam Research
定評あるラムリサーチのSABRE ElectrofillR 技術に加え、更なる技術革新をもって、WLPや TSV が必要とする高品質な膜と高い生産性を提供する。
UFP600AS
株式会社荏原製作所
高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置
EL3400
キヤノンアネルバ株式会社
高密度実装向けスパッタリング装置
Sigma fxp PVD
SPST Technology
パワーデバイス、TSV,MEMSなどの形成に最適なスパッタリング装置
ISACRESEARCH iOV dX3
isacresearch
iOV dX3
iOV dX1
Best for Small Lab
SDP CVD
Jusun Engineering
プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置
関連用語
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「成膜装置」の関連企業一覧
株式会社 高純度化学研究所
高純度材料ならおまかせください。 高純度金属材料を中心に化合物や合金など様々な材料を創り出してきました。 7つのコア技術と60年間歩み続け…
株式会社 荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
Kokusai Electric 株式会社
当社は、株式会社日立国際電気から独立して、新たにKKRファンドのもとで半導体製造装置事業の専門メーカーとして2018年6月1日より「株式会社KO…
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