成膜装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの薄膜を形成する装置

SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

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GEMINI ALD

WONIK

高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置

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NOA ALD

WONIK

メタル形成用ALD装置

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ALTUS

Lam Research

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する

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CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW

Applied Materials,Inc

金属コンタクト用高精度成膜装置

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Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

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Pulsar XP

ASM International NV

HKMGスタック形成対応ALD装置

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