半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

HYETA

WONIK

高生産性ALD装置

GEMINI ALD

WONIK

高品質な酸化膜、窒化膜形成に対応したALD装置

NOA ALD

WONIK

メタル形成用ALD装置

ALTUS

Lam Research

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する

CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW

Applied Materials,Inc

金属コンタクト用高精度成膜装置

Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

Pulsar XP

ASM International NV

HKMGスタック形成対応ALD装置

EmerALD XP

ASM International NV

HKMG量産に対応したALD装置

Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD