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UFP600AS

株式会社荏原製作所

高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置

F-REX型

株式会社荏原製作所

本装置はウェーハ表面を化学的機械的に研磨するクリーンルーム設置型のCMP装置です。市場で証明された高い信頼性と優れたプロセス性能を有する本…

UFP型

株式会社荏原製作所

本装置は、半導体ウェーハにバンプ、再配線、ビア等の微細パターンを形成させるクリーンルーム設置型の電解めっき装置です。

EAC型

株式会社荏原製作所

本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です…

EV-S型

株式会社荏原製作所

EV-S型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値…

EV-M型

株式会社荏原製作所

EV-M型は、半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応し、ダウンタイム抑制とランニングコスト低…

ESA型

株式会社荏原製作所

ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回…

ESR型

株式会社荏原製作所

ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価…

PDV型

株式会社荏原製作所

PDV型は、画期的な超軽量（20kg以下）、空冷、オイルフリー構造を持つユニークなドライ真空ポンプです。到達圧力0.5Pa以下を発揮しながら低振動…

EST型

株式会社荏原製作所

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…