カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
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- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
EV-S型
EV-S型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー・省スペース・軽量化を更に追及した独立設置対応用ルーツ形ドライ真空ポンプです。
・省エネルギー・省スペース・軽量化を実現
・耐腐食性材料モデル・N2パージモデルの選択可能
・周波数（50／60Hz）にかかわりなく同一性能
・ユニークな排気設計により、大気からの排気性能向上
・充実したセンシング機能でダウンタイムを低減
・CE／SEMI-S2／NRTL対応
基本情報
①機名 EV-S20
最大排気速度 （Ｌ/min） 1,670
到達圧力（Pa） 3.0
接続口径（吸気口） NW50
接続口径（排気口） NW25
到達圧力時電力概略値（KW） 0.4
②機名 EV-S20P/N
最大排気速度 （Ｌ/min） 1,670
到達圧力（Pa） 5.0
接続口径（吸気口） NW50
接続口径（排気口） NW25
到達圧力時電力概略値（KW） 0.4
③機名 EV-S50
最大排気速度 （Ｌ/min） 5,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） NW50
接続口径（排気口） NW25
到達圧力時電力概略値（KW） 0.55
④機名 EV-S50P/N
最大排気速度 （Ｌ/min） 5,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） NW50
接続口径（排気口） NW25
到達圧力時電力概略値（KW） 0.55
⑤機名 EV-S100
最大排気速度 （Ｌ/min） 10,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） NW80
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 0.65
⑥機名 EV-S100P/N
最大排気速度 （Ｌ/min） 10,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） NW80
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 0.65
⑦機名 EV-S200
最大排気速度 （Ｌ/min） 20,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） NW100
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 0.75
⑧機名 EV-S200P/N
最大排気速度 （Ｌ/min） 20,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） NW100
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 0.75
取扱企業
株式会社荏原製作所
業種：繊維 所在地：東京都 大田区羽田旭町 11-1
創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。
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