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EV-S型

株式会社荏原製作所
最終更新日: 2022年03月25日

EV-S型はロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー・省スペース・軽量化を更に追及した独立設置対応用ルーツ形ドライ真空ポンプです。

・省エネルギー・省スペース・軽量化を実現
・耐腐食性材料モデル・N2パージモデルの選択可能
・周波数(50/60Hz)にかかわりなく同一性能
・ユニークな排気設計により、大気からの排気性能向上
・充実したセンシング機能でダウンタイムを低減
・CE/SEMI-S2/NRTL対応

基本情報

①機名 EV-S20
最大排気速度 (L/min) 1,670
到達圧力(Pa) 3.0
接続口径(吸気口) NW50
接続口径(排気口) NW25
到達圧力時電力概略値(KW) 0.4

②機名 EV-S20P/N
最大排気速度 (L/min) 1,670
到達圧力(Pa) 5.0
接続口径(吸気口) NW50
接続口径(排気口) NW25
到達圧力時電力概略値(KW) 0.4

③機名 EV-S50
最大排気速度 (L/min) 5,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) NW50
接続口径(排気口) NW25
到達圧力時電力概略値(KW) 0.55

④機名 EV-S50P/N
最大排気速度 (L/min) 5,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) NW50
接続口径(排気口) NW25
到達圧力時電力概略値(KW) 0.55

⑤機名 EV-S100
最大排気速度 (L/min) 10,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) NW80
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 0.65

⑥機名 EV-S100P/N
最大排気速度 (L/min) 10,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) NW80
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 0.65

⑦機名 EV-S200
最大排気速度 (L/min) 20,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) NW100
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 0.75

⑧機名 EV-S200P/N
最大排気速度 (L/min) 20,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) NW100
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 0.75

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取扱企業

株式会社荏原製作所

業種:繊維  所在地:東京都 大田区羽田旭町 11-1

創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術

産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。

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