カテゴリー

EV-M型

株式会社荏原製作所
最終更新日: 2022年03月25日
クリックしてイメージを拡大

EV-M型は、半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応し、ダウンタイム抑制とランニングコスト低減のご要望にも十分お応えできる次世代ドライ真空ポンプです。高負荷プロセス対応と省エネルギー性という、相反する条件を高いレベルで両立させました。

・プロセス条件・排気速度に応じた豊富な製品ラインアップ
・高負荷プロセス対応と消費電力低減の両立を高次元で実現
・耐食材料を標準採用
・回転速度制御機能（省エネルギー運転）
・CE／SEMI-S2／NRTL対応
・用途
エッチング、CVD、P拡散、エッジアイソレーション、反射防止膜形成、ラミネーション、Si材料など

基本情報

①機名 EV-M20N
最大排気速度 （Ｌ/min） 1,800
到達圧力（Pa） 5.0
接続口径（吸気口） NW40
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 1.2

②機名 EV-M102N
最大排気速度 （Ｌ/min） 10,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） ISO100
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 1.8

③機名 EV-M202N
最大排気速度 （Ｌ/min） 20,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） ISO100
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 1.9

④機名 EV-M302N
最大排気速度 （Ｌ/min） 30,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） ISO100
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 2.3

⑤機名 EV-M502N
最大排気速度 （Ｌ/min） 50,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） ISO160
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 2.1

⑥機名 EV-M502N
最大排気速度 （Ｌ/min） 50,000
到達圧力（Pa） 0.5
接続口径（吸気口） ISO160
接続口径（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（KW） 2.1

お問い合わせ

取扱企業

株式会社荏原製作所

業種：繊維  所在地：東京都 大田区羽田旭町 11-1

創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術

産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。

EV-M型 へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。

ログインしてお問い合わせ 会員登録をしてお問い合わせ
ご依頼目的 必須
ご要望 必須
お問い合わせ ご意見等

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先（所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス）が通知されます。

EV-M型