カテゴリー
- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- サセプタ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
- SASU(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC(国内供給)
- 制御用パソコン(国内)
- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル/光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
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- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材料(消耗材料)
- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン(半導体グレード)
- SUS(半導体グレード)
- 大気ロボット
- 真空ロボット
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- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
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- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト/現像液
- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口封止材(紫外線硬化樹脂材料)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料(蒸着用)
- 蒸着材料
EV-M型
EV-M型は、半導体・液晶・太陽電池セル製造工程の中で、反応副生成物が発生する高負荷プロセスに対応し、ダウンタイム抑制とランニングコスト低減のご要望にも十分お応えできる次世代ドライ真空ポンプです。高負荷プロセス対応と省エネルギー性という、相反する条件を高いレベルで両立させました。
・プロセス条件・排気速度に応じた豊富な製品ラインアップ
・高負荷プロセス対応と消費電力低減の両立を高次元で実現
・耐食材料を標準採用
・回転速度制御機能(省エネルギー運転)
・CE/SEMI-S2/NRTL対応
・用途
エッチング、CVD、P拡散、エッジアイソレーション、反射防止膜形成、ラミネーション、Si材料など
基本情報
①機名 EV-M20N
最大排気速度 (L/min) 1,800
到達圧力(Pa) 5.0
接続口径(吸気口) NW40
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 1.2
②機名 EV-M102N
最大排気速度 (L/min) 10,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) ISO100
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 1.8
③機名 EV-M202N
最大排気速度 (L/min) 20,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) ISO100
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 1.9
④機名 EV-M302N
最大排気速度 (L/min) 30,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) ISO100
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 2.3
⑤機名 EV-M502N
最大排気速度 (L/min) 50,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) ISO160
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 2.1
⑥機名 EV-M502N
最大排気速度 (L/min) 50,000
到達圧力(Pa) 0.5
接続口径(吸気口) ISO160
接続口径(排気口) NW40
到達圧力時電力概略値(KW) 2.1
取扱企業
株式会社荏原製作所
業種:繊維 所在地:東京都 大田区羽田旭町 11-1
創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。
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