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ESR型

株式会社荏原製作所
最終更新日: 2022年03月25日
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ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果・省設置面積・軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ形ドライ真空ポンプです。

・ランニングコスト低減
・省エネルギー：アイドリング運転が可能
・回転速度制御機能で広範囲の排気速度をカバー
・腐食性ガス使用プロセスにも対応可能（“N”タイプは耐食仕様です）
・デジタル・アナログ信号の採用により幅広い装置との制御が可能
・最新のマイクロプロセッサ採用によりポンプを繊細制御
・LCDコントローラ上でアラーム履歴表示機能搭載
・CE／SEMI-S2／NRTL対応
・用途
エッチング、CVD、PVD、ODF、SEM、検査装置、P拡散、エッジアイソレーション、Si材料など

基本情報

①ESR20N
最大排気速度（Ｌ/min） 1,300～2,000
到達圧力（Ｐａ） 2
接続口径(吸気口） NW40
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 0.7

②ESR30
最大排気速度（Ｌ/min） 3,000
到達圧力（Ｐａ） 0.53
接続口径(吸気口） NW50
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.7

③ESR30N
最大排気速度（Ｌ/min） 3,000
到達圧力（Ｐａ） 0.67
接続口径(吸気口） NW50
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.7

④ESR80W
最大排気速度（Ｌ/min） 4,000～8,500
到達圧力（Ｐａ） 0.5
接続口径(吸気口） NW50
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.0

⑤ESR80WN
最大排気速度（Ｌ/min） 4,000～8,500
到達圧力（Ｐａ） 0.2
接続口径(吸気口） NW50
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.0

⑥ESR100WN
最大排気速度（Ｌ/min） 4,000～10,000
到達圧力（Ｐａ） 0.2
接続口径(吸気口） NW50
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.0

⑦ESR200W
最大排気速度（Ｌ/min） 10,000～20,000
到達圧力（Ｐａ） 0.5
接続口径(吸気口） NW100
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.0

⑧ESR200WN
最大排気速度（Ｌ/min） 10,000～20,000
到達圧力（Ｐａ） 0.13
接続口径(吸気口） NW100
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 1.1

⑨ESR300W（N）
最大排気速度（Ｌ/min） 30,000
到達圧力（Ｐａ） 0.2
接続口径(吸気口） NW100
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 2.9

⑩ESR500W（N）
最大排気速度（Ｌ/min） 46,000
到達圧力（Ｐａ） 0.2
接続口径(吸気口） ISO160
接続口径(排気口） NW40
到達圧力時電力概略値（kW） 3.1

お問い合わせ

取扱企業

株式会社荏原製作所

業種：繊維  所在地：東京都 大田区羽田旭町 11-1

創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術

産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。

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