カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
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- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
ESA型
ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライ真空ポンプです。
1)型式：ESA15-D／ESA25-D／ESA70W（-D）／ESA70WN（-D）／
ESA80W-HDF／ESA80WN-HDF／ESA100W／ESA100WN
・水素（H2）などの軽ガスを高効率排気
・耐食仕様をオプション設定（-N型）
・高性能かつコンパクト
2)型式：ESA200W／ESA300W／ESA500W
・大型真空チャンバの高速排気
・高性能かつコンパクト
・大排気速度ながら低騒音・低振動
・回転速度自動制御機能（ポンプへの負荷に順応）
・ポンプ高度制御方式採用（データ保持機能・アラーム履歴細分化）
・CE／SEMI-S2／NRTL対応
基本情報
①ESA15-D
最大排気速度（Ｌ/min） 1,400（50Hz）、1,700（60Hz）
到達圧力（Ｐａ） 400（50Hz）、270（60Hz）
接続口径（吸気口） NW40
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 2.9(50Hz)/3.2(60Hz)
②ESA25-D
最大排気速度（Ｌ/min） 2,500（50Hz）、3,000（60Hz）
到達圧力（Ｐａ） 5.3（50Hz）、4.0（60Hz）
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 2.6(50Hz)/2.9(60Hz)
③ESA70W（-D）
最大排気速度（Ｌ/min） 7,000（50Hz）、8,400（60Hz）
到達圧力（Ｐａ） 0.27（50Hz）、0.13（60Hz）
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 3.6(50Hz)/4.0(60Hz)
④ESA70WN（-D）
最大排気速度（Ｌ/min） 7,000（50Hz）、8,400（60Hz）
到達圧力（Ｐａ） 0.4（50Hz）、0.27（60Hz）
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 3.6(50Hz)/4.0(60Hz)
⑤ESA80W-HDF
最大排気速度（Ｌ/min） 8,400
到達圧力（Ｐａ） 0.13
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 4.2
⑥ESA80WN-HDF
最大排気速度（Ｌ/min） 8,400
到達圧力（Ｐａ） 0.27
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 4.2
⑦ESA100W
最大排気速度（Ｌ/min） 10,000
到達圧力（Ｐａ） 0.13
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 4.9
⑧ESA100WN
最大排気速度（Ｌ/min） 10,000
到達圧力（Ｐａ） 0.27
接続口径（吸気口） NW50
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 4.9
⑨ESA200W
最大排気速度（Ｌ/min） 20,000
到達圧力（Ｐａ） 0.53
接続口径（吸気口） NW80
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 3.2(50Hz)/4.0(60Hz)
⑩ESA300W
最大排気速度（Ｌ/min） 28,000（50Hz）、30,000（60Hz）
到達圧力（Ｐａ） 0.53
接続口径（吸気口） ISO100
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 6.6(50Hz)/7.3(60Hz)
⑪ESA500W
最大排気速度（Ｌ/min） 47,000（50Hz）、50,000（60Hz）
到達圧力（Ｐａ） 0.53
接続口径（吸気口） ISO160
（排気口） NW40
到達圧力時電力概略値 5.1(50Hz)/6.7(60Hz)
取扱企業
株式会社荏原製作所
業種：繊維 所在地：東京都 大田区羽田旭町 11-1
創業以来100年以上培ってきた世界トップクラスの流体技術
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあらゆる技術が 製品ライフサイクル全体と適したサービスを可能にする荏原のコア技術です。
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