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CS-200

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

・従来のプロセスデータやノウハウを活かし、使いやすさのデザインを一新
・ロードロック室にカセット機構 (オプション) を搭載することにより生産性アップ
・基板搬送サイズは最大φ300mm (膜厚分布保証はセンターφ200mm).
・複数カソードでの積層 / 同時スパッタに対応
・タッチパネルからの自動プロセス、レシピ入力による省力化運転
・データロギング可能

基本情報

用途
・電極膜形成/多層電極及び同時成膜用途
・誘電体膜形成、絶縁膜、パッシベーション、保護膜など
・電子部品向け研究開発、及び小規模生産向け

価格帯 5000万円以上 1億円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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