半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

CRシリーズVerB

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

UTM300

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

UTM70B

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

UTM-FH/FWシリーズ

株式会社アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

SEC-N100シリーズ

株式会社堀場エステック

汎用モデルデジタルマスフローコントローラ

MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

MagnaTran 7 Leapfrog (MAG 7 X)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールでスループットのきわめて高いアプリケーション向けのデュアル アーム同側ウエハー搬送ロボット

MagnaTran 7 SCARA (MAG 7)

Brooks Automation Inc.

高いリーチ/コンテインメント率を必要とする真空アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット