カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
SEC-N100シリーズ
汎用モデルデジタルマスフローコントローラ
10 SCCMから1000SLMのワイドな流量制御範囲、デジタル/アナログ、 DeviceNet, CC-LinkR、PROFIBUS, EtherCATRから選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。
基本情報
・10 SCCMから1000 SLMまでのワイドな流量制御範囲
流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。
・高精度：±1.0% S.P.流量精度の向上
・セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
・全流量域にわたる高速応答:フルレンジ1秒以内
・マルチガス/マルチレンジ機能を搭載
・ユーザーサイドでガス種・フルスケール流量を変更可能。
製品型式と通信方式
・SEC-N102シリーズ
通信方式 デジタル通信：RS-485 F-Net protcol
アナログ通信：0～5VDC
駆動電源 ±15VDC(±5%)
・SEC-N104シリーズ
通信方式 DeviceNet通信
駆動電源 ODVA規格
・SEC-N105シリーズ
通信方式 CC-Link通信
アナログ通信：0～5VDC 0～10VDC、4～20mA
駆動電源 24VDC（13~32VDC）
・SEC-N106シリーズ
通信方式 プロフィバス通信
アナログ通信：0～5VDC 0～10VDC、4～20mA
駆動電源 プロフィバス規格
24VDC(13～32VDC)
・SEC-N107シリーズ
通信方式 EtherCAT通信
駆動電源 EtherCAT 規格：24VDC +/-4V
取扱企業
株式会社堀場エステック
業種：電子部品・半導体 所在地：京都府 京都市南区上鳥羽鉾立町 11-5
高精度な流量計測制御のトータルソリューションを提供し、半導体製造プロセスを支えます。
堀場エステックは、半導体や液晶製造分野で欠くことのできない流体制御機器「マスフローコントローラ」で世界トップシェアを維持して成長し続けています。
「ガス」「液体」「液体材料」「気化技術」を極めた「世界一の流体制御機器メーカー」を目指し、独創技術と「おもしろおかしく」のスピリットを基に、半導体業界の未来を創造していきます。
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SEC-N100シリーズ
