半導体製造装置関連部品の製品一覧
樹脂コレット
有限会社オルテコーポレーション
金属コレットやゴムコレットでは対応できない要求に応えます。
コレットホルダー
半導体を運ぶための駆動部分になります。
交換式ゴムコレット(交換式ラバーチップ)
3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善
真空環境におけるアウトガス分析
株式会社住化分析センター
『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』
半導体材料の溶出試験
『半導体材料の清浄度評価のための溶出試験』
半導体製造向け精密チラー RJ-SA型
株式会社荏原製作所
小型かつ高出力で、サブファブスペースを効率的に利用可能なチラー
RR493L300
ローツェ株式会社
超高真空対応スカラアーム・ロボット
ACE-EFEM
高速搬送が可能なEFEM
RR493L180
RR492L400
2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット
関連用語
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「半導体製造装置関連部品」の関連企業一覧
ローツェ 株式会社
1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…
株式会社 安川電機
安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…
川崎重工業 株式会社
同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…
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