半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

超硬製/金属製ダイコレット

有限会社オルテコーポレーション

強度、温度、耐摩耗が要求されるシーンで採用される

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樹脂コレット

有限会社オルテコーポレーション

金属コレットやゴムコレットでは対応できない要求に応えます。

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コレットホルダー

有限会社オルテコーポレーション

半導体を運ぶための駆動部分になります。

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真空環境におけるアウトガス分析

株式会社住化分析センター

『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』

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半導体材料の溶出試験

株式会社住化分析センター

『半導体材料の清浄度評価のための溶出試験』

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半導体製造向け精密チラー RJ-SA型

株式会社荏原製作所

小型かつ高出力で、サブファブスペースを効率的に利用可能なチラー

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RR493L300

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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ACE-EFEM

ローツェ株式会社

高速搬送が可能なEFEM

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RR493L180

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR492L400

ローツェ株式会社

2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

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