半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

RR493L200

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L230

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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金属イオン溶出の無い自動着脱装置(オートコネクタ)

ナブテスコサービス株式会社

金属イオンの溶出を嫌うラインでの、着脱作業を自動化します。 大きな偏芯量にも対応します。

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CUBE2500

Unisem Co,Ltd.

小型高精度チラー

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ThermoRack 1201/1801

Solid State Cooling

小型高性能ペルチェ式チラー

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Thermoelectric Chiller

Fine Semitech Corp.

ペルチェ方式高精度チラー

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高精度チラー

株式会社ミラプロ

市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため様々なタイプのチラーをご用意しております

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小型CHシリーズ

タイテック株式会社

日本の半導体工場を支える小型チラーの定番

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チラーシリーズ

伸和コントロールズ株式会社

お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内熱交換部の開発もご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提…

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