半導体製造装置関連部品の製品一覧
半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品
サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…
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関連用語
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