半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

RR481L200

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR481L220

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボッ

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RR491L300

ローツェ株式会社

フロッグレッグアーム真空ロボット。シングルアームタイプ

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RR493L200

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L230

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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金属イオン溶出の無い自動着脱装置（オートコネクタ）

ナブテスコサービス株式会社

金属イオンの溶出を嫌うラインでの、着脱作業を自動化します。 大きな偏芯量にも対応します。

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CUBE2500

Unisem Co,Ltd.

小型高精度チラー

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ThermoRack 1201/1801

Solid State Cooling

小型高性能ペルチェ式チラー

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Thermoelectric Chiller

Fine Semitech Corp.

ペルチェ方式高精度チラー

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TermoChil

Thermo Fisher Scientific

高精度チラー

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