カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
小型CHシリーズ
日本の半導体工場を支える小型チラーの定番
・高温冷却が可能。高温域でも冷凍機を運転
一般的なチラーは高温域での温度制御では、過熱制御のみしか行えませんが、CH-402B/602B/802BFは、 使用温度範囲全域で冷凍機を運転しますので、高温域での冷却制御が可能です。
・ポータビリティに優れる密閉系向けコンパクトチラー
コンパクトな密閉系向けチラーです。キャスター付きですので設置場所の移動が容易です。
・冷水製造向き-標準温調のAタイプと広い使用温度範囲-精密温調のBタイプ
Aタイプは-10～＋25℃(室温付近)の範囲で温度設定が可能です。この温度域で最も冷却能力が発揮されるように冷凍サイクルの設計がされています。 冷凍機のON-OFFで温度調節を行います。
Bタイプは-10～+80℃の範囲で温度設定が可能です。冷凍機を常に運転し、ヒーターによって細かく温度を制御しますので、±0.5℃の温度精度で安定した恒温水循環が可能です。 また、ゼロクロススイッチング方式の採用でノイズ発生がないため、精密機器の近くでも安心して使用できます。
・水冷式もあります
効率の良い水冷式精密温調タイプ(CH-802BF)もあります。
・充実した安全器/安全機能と外部入出力
各種の安全器および安全機能を備え、異常時は内容が表示されます。作動信号の外部出力が可能です、バリデーションの面でも安心してお使いいただけます。 温度モニターの出力も可能。
・接液部はオールステンレス
水槽や配管など、循環液に接する部分はオールステンレス製です。腐食に強く、純水の使用にも対応可能です。 ポンプ部は一部の材質が真鍮となっている機種もありますが、オールステンレスタイプの製作も可能です。
基本情報
仕様
使用温度範囲 -10℃～＋80℃(*1)
温度調節精度 ヒーターPID制御、±0.5℃(*2)
冷却能力(50Hz時) 約1.3kW(*3)
冷凍機出力 空冷式、750W
ヒーター出力 3kW
温度設定・表示 デジタル式(温度設定／槽内温度表示切換式)
安全器／安全機能 漏電／過電流ブレーカー、冷凍機異常警報、高低温、ポンプ水槽容量（80％水位) 約26L(*5)
適用ポンプユニット P-320、P-420、P-520
外形寸法 407×565×996Hmm(ポンプ含まず)
本体質量 約75kg(ポンプ含まず)
所要電源 三相AC200V・50/60Hz、20A(ポンプ含まず)
運転電流 15A(ポンプ含まず)
取扱企業
タイテック株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：埼玉県 越谷市西方 2693-1
理化学機器・産業機器のブランドTAITEC
タイテックは1942年の創業以来、一貫して汎用科学機器メーカーの道を歩み続けてきました。いかに製品が進化しても開業当時から変わらないのが『ユーザー直結』の姿勢です。ユーザーの傍らに常に身を置き、その意見を製品にフィードバックする。それを貫き通した結果、科学機器のブランド『TAITEC』として認知されるまでに成長しました。
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