カテゴリー
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- エッチングガス
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- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
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- リードフレーム
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- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
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- Cr、ITO
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- 液晶材料
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- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
A/AXシリーズ
高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能な精密ステージ
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精密研削された断面高さの低いＬＭガイドと精密ボールねじの採用により、高精度な位置決め送りのできる精密ＸＹステージです。専用サドルを使用しないＸＹの組合わせなので、ストロークは１軸ステージの組合わせで自由に選択できます。
基本情報
1. 豊富なバリエーション
さまざまな用途に合わせた3種類のステージ精度、標準ストロークは50mmから500mmを用意しています。ジャバラタイプも用意しており、環境に応じた選定が可能です。
豊富なバリエーション
2. 高精度
精密ステージA/AXは精密研削された断面高さの低いコンパクトなLMガイドSRを使用し、多重拘束構造による高精度案内が得られます。SRはラジアル方向の荷重に強いボール接触構造のため水平案内部に最適なLMガイドです。
高精度
3. ビルトアップタイプ
従来の専用サドルを使用したX Yの組合わせでなく、１軸ステージの組合わせでストロークが自由に選択可能です。
4. 長期間高精度を維持
案内部は信頼性に優れたLMガイドを使用し、長期間、精度寿命が得られます。また、送りねじには精密ボールねじを使用し、ガタのない正確な位置決め送りが可能です。
取扱企業
THK株式会社
業種：産業用機械 所在地：東京都 港区芝浦 2-12-10
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