カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
ペルチェ式サーモコン HEC
熱源やプロセス流体の高精度温調が可能。
・水冷式と空冷式を準備
・高精度温調が必要な用途に。
・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。
・シンプルな構造で高信頼性。
・小型、低振動で装置内への組込みが容易。
・ワイドな電源電圧に対応可。
・UL規格適合、CEマーキング
基本情報
HEC002-A5A（空冷式）＊冷却能力600W／加熱能力900W版もあり。
冷却方式 電子冷熱素子（サーモモジュール）
放熱方式 強制空冷
制御方式 冷却・加熱自動切換PID制御
使用周囲温度・湿度 10～35℃、35?80％RH（ただし結露なきこと） 循環液系
循環液 清水、エチレングリコール20％
設定温度範囲 10.0～60.0℃（ただし結露なきこと）
冷却能力 230W
加熱能力 600W
温度安定性注3） ±0.01～±0.03℃
タンク容量 約1.2L
電気系
電源 単相 AC100～240V±10％、50/60Hz
サーキットプロテクタ 15A
消費電流 8A（AC100V）～3A（AC240V
通信機能 RS-485 RS-232C RS-485 RS-232C
質量 約17.5kg（固定用フート含む）
取扱企業
SMC株式会社
業種：産業用機械 所在地：東京都 千代田区外神田 4-14-1秋葉原UDX 15 階
空気圧機器をはじめとする自動制御機器の総合メーカー
生産設備のオートメーション化に貢献する「自動制御機器」「焼結濾過体」「各種濾過装置」の製造・販売・輸出入を行っています。当社の自動制御機器は、基本型約12,000種(2015年度受注の最終品番で約70万品目)という膨大な製品群を誇っています。産業界のオートメーション設備は日々高度化しており、ＳＭＣの事業内容は空気圧機器を軸としてメカトロ機器、流体制御機器、電動機器、温調機器などへ拡大しています。
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ペルチェ式サーモコン HEC
