半導体製造装置関連部品の製品一覧

半導体製造装置を構成する部品、モジュール、ユニットおよび消耗品

RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR751L13

ローツェ株式会社

全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット

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RR751L15

ローツェ株式会社

大気ロボット：高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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RR756L15

ローツェ株式会社

大気ロボット：高重量ハンドに対応

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RR757L15

ローツェ株式会社

大気ロボット：スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル

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RR759L22

ローツェ株式会社

大気ロボット：FOPLPパネルにも対応

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RR759L27

ローツェ株式会社

大気ロボット：FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応

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RR481L200

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR481L220

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボッ

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RR491L300

ローツェ株式会社

フロッグレッグアーム真空ロボット。シングルアームタイプ

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