半導体製造装置関連部品の製品一覧
小型CHシリーズ
タイテック株式会社
日本の半導体工場を支える小型チラーの定番
チラーシリーズ
伸和コントロールズ株式会社
お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内熱交換部の開発もご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提…
ペルチェ式サーモコン HEC
SMC株式会社
熱源やプロセス流体の高精度温調が可能。
HRZ-F
DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。
CR6300
株式会社日立ハイテク
高速ADR、高精度ADCにより、歩留まり改善に貢献するインライン対応欠陥レビューSEM
Mirelis VM1000
SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置
LSシリーズ
ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。
ISシリーズ
暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。
CMXシリーズ
THK株式会社
画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージ
A/AXシリーズ
高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能な精密ステージ データダウンロード
関連用語
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「半導体製造装置関連部品」の関連企業一覧
ケーエスエス 株式会社
小型化するなら、ケーエスエス。 弊社はミニチュアボールねじを専門に製造するメーカです。シャフト軸外径がφ16mm以下のボールねじを専門に、世…
ローツェ 株式会社
1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…
株式会社 安川電機
安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…
関連企業一覧
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