カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
ThermoRack 1201/1801
小型高性能ペルチェ式チラー
ThermoRack 1201 は、半導体製造工程のプラズマエッチングにおける温度制御チラーとして最適にデザインされています。 ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。 ±0.05℃ の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善します (First wafer effectの削減)。 また消費電力も従来のチラーに比べ、最大93%削減できます。 駆動部はポンプと冷却ファンの2つだけなので、従来のチラーと比べて騒音、振動を低減して、故障によるシステムダウンも抑えられます。 19インチラックマウントタイプのコンパクトなデザインでクリーンルームの省スペース化ができます。
基本情報
ThermoRack 1201 基本仕様
設定温度範囲 －10 ℃～80 ℃
冷却能力 1340 W（冷却水温度20 ℃）
加熱能力 2000 W（冷却水温度20 ℃）2500 W（冷却水温度20 ℃）
環境温度 10 ℃～40 ℃
温度安定性 ±0.05 ℃ 無負荷又は負荷一定時
冷却方式 水冷方式
循環液 Galden HT series、Fluorinate FC series, NOVEC 7000 series, 純水/エチレングリコール溶液
接続口 1/2“ スウェジロック
ポンプ マグネットカップリングポンプ 14 Ｌ/min @0.21 MPa （フッ素系液使用時）
タンク容量 5.7 L 2段式 レベルセンサー
接液部材質 アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー
冷却水条件 4-8 L/min @10-35℃ （pH 6.5-8.2）
外寸法（WxDxH） 483 x 610 x 221mm 5U (EIA-310-D規格)
質量 31 kg
電源 1P 200-240 VAC 50/60 Hz 10 A max
通信インターフェィス Lam analog. AMAT CHX、TEL UnityⅡ
取扱企業
Solid State Cooling
業種：産業用機械 167 マイヤーズコーナーズロード、ワッピンガーズフォールズ、NY 12590
高精度温度制御システムを提供
産業、研究開発分野にSolid Stateタイプの温度制御システムの設計、開発、販売を行っている。
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ThermoRack 1201/1801
