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高精度チラー

市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため様々なタイプのチラーをご用意しております

タイプA~Fまでを製品しています。
ミラプロのチラーは市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため、極低温(-70℃)から高温(+145℃)まで幅広い温度制御が可能で、かつ低温、高温切替え機能を搭載したハイスペックチラーをご用意しております。さらに、半導体製造のビルドインタイプ、世界最小クラスのコンパクトサイズのコンパクトチラーは、世界の半導体市場に約1000 台の稼働実績があり、多くのお客様にご支持いただいております。

基本情報

Type-Aは-70~140℃、冷却能力は8kW、制御精度は±1.0℃。エッチング装置などのハイエンド向けに提供されている。
Type-Bは-70~30℃、冷却能力は400W/700W、制御精度は±0.5℃。プローバなどコストと能力のバランスがとれたものとなっている。
Type-Cは10℃~30℃で、冷却能力は50kW。制御精度は±0.5℃。洗浄装置、成膜装置などに対応している。
Type-Dは0℃~60℃で冷却能力は、750W。制御精度は±0.5℃。成膜装置などに対応しています。
Type-Eは0~80℃、冷却能力は800W。制御精度は±0.5℃。
Type-Fは10~80℃、冷却能力は1000W。制御精度は±0.5℃。

お問い合わせ

取扱企業

株式会社ミラプロ

業種:産業用機械  所在地:山梨県 北杜市須玉町穴平 1100番地

私たちは『クリーンアプリケーションをきわめる』をキーワードに事業展開をして参ります

ミラプロは1984年の創業以来、つねに新しいものづくりに挑戦してきました。溶接ベローズを中心とした真空という特殊な環境向けの製品開発で培った技術を発展させ、宇宙現象の解明などの最先端の科学技術プロジェクトに参加できるまでになりました。

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