カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
高精度チラー
市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため様々なタイプのチラーをご用意しております
タイプA～Fまでを製品しています。
ミラプロのチラーは市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため、極低温（-70℃）から高温（+145℃）まで幅広い温度制御が可能で、かつ低温、高温切替え機能を搭載したハイスペックチラーをご用意しております。さらに、半導体製造のビルドインタイプ、世界最小クラスのコンパクトサイズのコンパクトチラーは、世界の半導体市場に約1000 台の稼働実績があり、多くのお客様にご支持いただいております。
基本情報
Type-Aは-70～140℃、冷却能力は8kW、制御精度は±1.0℃。エッチング装置などのハイエンド向けに提供されている。
Type-Bは-70～30℃、冷却能力は400W/700W、制御精度は±0.5℃。プローバなどコストと能力のバランスがとれたものとなっている。
Type-Cは10℃～30℃で、冷却能力は50kW。制御精度は±0.5℃。洗浄装置、成膜装置などに対応している。
Type-Dは0℃～60℃で冷却能力は、750W。制御精度は±0.5℃。成膜装置などに対応しています。
Type-Eは0～80℃、冷却能力は800W。制御精度は±0.5℃。
Type-Fは10～80℃、冷却能力は1000W。制御精度は±0.5℃。
取扱企業
株式会社ミラプロ
業種：産業用機械 所在地：山梨県 北杜市須玉町穴平 1100番地
私たちは『クリーンアプリケーションをきわめる』をキーワードに事業展開をして参ります
ミラプロは1984年の創業以来、つねに新しいものづくりに挑戦してきました。溶接ベローズを中心とした真空という特殊な環境向けの製品開発で培った技術を発展させ、宇宙現象の解明などの最先端の科学技術プロジェクトに参加できるまでになりました。
高精度チラー へのお問い合わせ
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