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PMR-3000

日本セミラボ株式会社
最終更新日: 2020年12月03日

非破壊インプラモニター

セミラボのPMR-3000は、大幅な改良に支えられており、製品ウェハーの注入プロセスのインラインモニタリングを可能にし、注入システムの迅速で正確、かつ低コストの製造管理や、アニーリング前の注入のインラインモニタリングを実現します。

また、PMR-3000は、インプラ後のドーズ量モニタリング、加えてアニール処理前後のジャンクション深度測定を非接触・非破壊で測定します。

基本情報

●ドーズ量
●ドーズ量範囲:1×1010cm-2~1×1016cm-2
●エネルギー範囲:100eV~3MeV
●注入種:As、B、P、BF2、In、Sb、C(他の種のアプリケーションも開発中)
●プロセス要件:アニーリング前、注入後の層、表面酸化物
●SEMI準拠(300mm)の全自動化
●OHT対応可能
●ティア1汚染(コンタミネーション)仕様に完全に準拠(クラス1ミニエンバイロメントを装備)
●2つのFOUPで最大300mmのウェハーのハンドリングが可能
●最新式ソフトウェア:
●レシピベースの操作
●ホスト通信
●複数のアクセスレベル

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取扱企業

日本セミラボ株式会社

業種:商社・卸売り  所在地:神奈川県 横浜市港北区新横浜 2-15-10 YS新横浜ビル6階

セミラボは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです

半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーターなどを取り扱いしています

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