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GE50A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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マルチガス、マルチレンジ・エストラマーシール・マスフローコントローラ

・樹脂封止タイプ
・デジタルおよびアナログインターフェイスの幅広い選択肢
GE50Aデジタル制御MFCは、アナログまたはデジタルI / Oで利用できます。デジタル制御電子回路は、最新のMKS制御アルゴリズムを利用して、デバイス制御範囲全体にわたって設定点に対して高速で反復可能な応答を提供します。通常の応答時間は500ミリ秒程度です。
・標準の3インチの設置面積
GE50Aは、MFCが5sccmから50slmの流量範囲で、最も広く採用されている標準の3インチの設置面積を利用して、既存のガスライン構成を変更する必要なく使用できます。
・すべての金属接液表面
　GE50Aの設計には、エラストマー（弾性樹脂）の使用を最小限に抑えています。外部エラストマーシールとエラストマーバルブプラグは1つだけです。それ以外の場合、すべての接液面は金属製です。
・セットポイント精度のパーセント
　含まれているデジタルキャリブレーションにより、フルスケールの流量範囲の20～100％でN2キャリブレーションガスを使用すると、設定値の精度が1％になります。設定点の精度により、フルスケールに関連して述べられた精度に対して正確なプロセス制御が可能になります。質量流量が2～20％フルスケールの場合、精度はフルスケールの±0.2％です。
・組み込みユーザーインターフェイス
組み込みのユーザーインターフェイスは、デバイスの範囲とユーザーガスを簡単に変更する機能を提供し、在庫要件を削減します。また、MFC機能を監視し、パフォーマンスデータをその場で収集することもできます。

基本情報

・Control Range 2%～100% of Full Scale
・Full Scale Flow Range 5 - 50,000 sccm
・Seal Material Viton, Buna-N, Neoprene, or Kalrez
・Analog Connector 9-pin or 15-pin D-subminiture
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential 10～5000 sccm; 10 to 40 psid, 10000 to 20000 sccm; 15 to 40 psid, 30000 to 50000 sccm; 25 to 40 psid
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Typical Accuracy ±1% of set point for 20 to 100% Full Scale, ±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
・Repeatability ±0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficien t<0.05% of Full Scale/℃
・Span Temperature Coefficient <0.08% of Reading/℃
・Inlet Pressure Coefficient <0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time <750 msec, typical above 5% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10℃～50℃
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20℃° ～ 80℃
・External Leak Integrity <1 x 10-09 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve
　Up to 10K valve <0.1% of FS at 40 psig to atmosphere, 20K - 50K valve <1.0% of FS at 40 psig to atmosphere
・Wetted Materials 316L S.S. VAR, 316 S.S., ElgiloyR, Nickel
・Surface Finish 16μ inch average Ra
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Compliance CE

お問い合わせ

取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810, United States 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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