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AIX G5+C

Aixtron SE
最終更新日: 2023年07月14日

150/200mm基板(Si/サファイア/SiC)上の先進GaNアプリケーション向け最新プラネタリーリアクターモジュール。生産性と性能を向上させています。

・最高のスループット
・低所有コスト
・最高の歩留まり性能
・Cl2 in-situ洗浄とカセット・ツー・カセット・ウェーハ・ハンドラーを備えた初の完全自動MOCVDプラットフォーム

基本情報

バッチ式リアクターのコストメリットと、枚葉式リアクター特有の軸対称のウエハー上の均一性が組み合わされています。
ウェハ反り
層厚、材料組成、ドーパント濃度
部品歩留まり
温熱シーリングにより、ウェーハを通過する熱流束を最小化
垂直方向の温度勾配を最小限に抑えることで、ウェーハの湾曲を最小化
標準的な厚さのSiウェーハの使用が可能
顧客固有の基板ポケット設計によるウェーハ温度の最適化

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取扱企業

Aixtron SE

業種：産業用機械 ドイツ ヘルツォーゲンラート Dornkaulstrasse 2 52134 

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